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真空系统的简单介绍 及部分名词-浙江邪隧真

真空系统的简单介绍 及部分名词-浙江邪隧真

发布日期:2020-05-26 15:55 访问次数:

真空系统实际上是真空装置的类似术语。真空机组是由多个真空泵组成的一套闭环真空设备。它不一定有一些设备,如散热器和冷凝器。但是一般可以称之为真空系统的是,所有种类的部件都是完整的。真空应用设备有很多种,但无论是哪种真空应用设备,都有一套抽气系统来排出真空容器中的气体,从而在真空容器中获得所需的真空条件。例如,用于真空处理的容器通过管道和阀门与真空泵相连。当真空泵抽空容器时,容器必须具有真空测量装置,该装置构成最简单的真空泵系统。与机组相比,真空系统中有多少台泵?这是不确定的,让我们先看看泵的可能名词解释。

(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需真空度以满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵是主泵。

(2)前级泵:一种真空泵,用于保持某一真空泵的前级压力低于其临界前级压力。例如,布置在罗茨泵前面的旋转叶片泵或滑阀泵是前级泵。

(3)粗泵:真空泵,从大气压力开始抽吸空气,并将系统压力泵送到另一台真空泵开始工作。例如,真空镀膜机中的滑阀泵就是原油泵。

(4)维护泵:在真空系统中,当空气量很小时,前级泵不能有效使用。因此,配置一个容量较小的辅助泵来维持主泵的运行,主泵被称为维护泵。如果扩散泵的出口装有一个小型旋转叶片泵,它就是维护泵。

事实上,简单的真空系统只能获得粗略的真空,当需要高真空时,高真空泵通常串联在真空系统中,如罗茨泵和螺杆泵等。当高真空泵串联时,通常在高真空泵的入口和出口分别增加阀门,这样高真空泵可以独立维持真空。如果串联式高真空泵是油扩散泵,为了防止大量油蒸汽回流到泵送容器中,通常在油扩散泵的入口处增加一个——水冷挡板。根据需要,还可以在管道上增加除尘器、真空继电器表头、真空软连接管道、真空泵入口排气阀、散热器等,形成一个比较完善的高真空系统。

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