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无油干式机械 真空泵的原理及简介-浙江邪隧

无油干式机械 真空泵的原理及简介-浙江邪隧

发布日期:2020-05-26 15:54 访问次数:

无油干式机械真空泵(简称干式机械泵)是指能够从大气压力开始抽吸空气,并将抽吸的气体直接排放到大气中的机械真空泵。泵室内没有油或其他工作介质,泵的极限压力与油封真空泵的极限压力相同或接近。

目前,在真空工业中使用的大多数机械真空泵使用诸如油、水或其他聚合物的流体作为泵的工作介质,其在泵中起多种作用,例如冷却、密封和润滑。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其泵送系统存在两个亟待解决的问题:一是泵的工作介质回流污染泵送容器,在很多情况下影响产品的质量和数量,增加设备的维护成本。其次,由于过程中的一些反应物质导致真空泵中的介质严重劣化,泵无法正常工作。

对于普通的无油真空系统,虽然油密封真空泵和附件如冷阱或吸附阱可以用来防止回流,但问题不能完全解决,系统看起来很复杂。然而,使用合适类型的干式机械真空泵可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵应用广泛,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积多晶硅制备工艺;2)半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;3)对于除半导体工艺之外产生颗粒的一些工艺,不希望颗粒混入泵油中,但是对于从泵中排出的颗粒,某种类型的干式机械真空泵可以满足要求;4)在化学工业、制药工业、食品工业中蒸馏、干燥、消泡、包装等。防止有机溶剂造成的污染,适用于干式真空泵;5)作为一般无油清洗真空系统的前置泵,防止油污染。

近年来,干式机械真空泵发展迅速,许多国外大型真空公司开发了新型干式机械真空泵。国内许多单位也在开发干式机械真空泵,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触式和非接触式。接触式干式泵包括叶片式、凸轮式、往复活塞式、隔膜式等。这些泵速度低,适用于小容量和高压缩比(单级压缩比)。非接触干式泵包括罗茨型、爪型、螺旋式、涡流型等。它们速度快,适用于大容量和低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵有各自的特点。使用时,可根据不同用途选择。

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